一、愛德華真空泵結(jié)構(gòu)分類:
1.機械式。這種真空泵類似于壓縮機,包括往復(fù)式和旋轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu),以及動力式渦輪分子泵,都是抽出式真空泵。
2.噴射泵。有噴射泵和擴散泵兩種形式,兩者組合的增壓泵也是抽出式真空泵。
3.吸著式進口真空泵。通過物理或化學方法,氣體分子吸入泵壁表面,屬于捕集式真空泵。
二、愛德華真空泵的工作原理分類:
1.抽除式真空泵,是抽出系統(tǒng)中的氣體,將氣體分子排出系統(tǒng)以外。
2.捕集式。真空泵捕集系統(tǒng)中的氣體分子直接吸附在泵的工作壁面上,不排出系統(tǒng)。
三、按真空泵在系統(tǒng)中的工作功能分類:
1.主抽氣泵。實現(xiàn)要求壓力的主要工作泵。
2.預(yù)抽氣泵。主抽氣泵在大氣狀態(tài)下不能直接開始抽氣時,需要先抽到某個壓力,主抽氣泵才能工作。
3.前級泵。主抽氣泵無法將吸氣體直接排放到大氣中時,必須串接前級泵進行排放。
4.維持泵。當主吸氣泵完成要求的壓力停止工作后,由于系統(tǒng)泄漏或表面蒸發(fā)等原因,壓力可能會上升,因此用維護泵繼續(xù)吸氣。
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